型平面干涉仪:专为计量级测试的需求设计,适用于计量机构检定和校准光学平晶。其集高性能、长寿命氦氖激光器,1-6.7倍图像放大功能,高精度的成像系统和图像采集系统,精密平面标准镜等一系列高精技术,通过优化光学系统和机械系统结构,实现高精密平面光学元件的测量。选配静态干涉条纹分析软件,实现数字化测量。
为:的简化版本,适合光学车间的现场检验。
主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性的测试;准直系统波前质量的测试。
仪器规格参数表
仪器特点
产品型号 |
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有效通光口径 |
152.4mm(6英寸) |
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测量方式 |
菲索干涉原理 |
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光源 |
氦氖激光(632.8nm) |
半导体激光器(635nm) |
连续变焦倍数 |
1-6.7倍 |
固定倍率 |
光路切换 |
对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换 |
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显示方式 |
计算机或独立监视器实时显示 |
监视器实时显示 |
平面透过标准镜 |
PV:优于λ/20,可定制更高精度标准镜 |
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平面反射标准镜 |
标配 |
选配 |
衰减过滤片 |
标配 |
选配 |
仪器尺寸(长X宽X高) |
500X500X1070mm |
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仪器重量 |
80KG |
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电源 |
AC100-240V 50/60Hz |
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(附注:更大口径平面干涉仪可依据客户需求定制) |
仪器特点
◇ 精度高:标准镜精度高,且材料经过精密退火处理,稳定可靠;
◇ 调整方便:可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式,方便调整;
◇ 条纹真实:优良的光学设计,精密的系统装保证得到清晰、准确、真实的干涉条纹;
◇ 性能优良:仪器具备良好的隔振性能,适合光学加工现场使用;
◇ 配件丰富:标配密封罩,可将测试腔与外界气流隔离,降低测试过程中气流扰动,提高判断的准确性。配合衰减过滤片,可以测量镀高反膜元件。 |